东大制成 0.6 纳米二维半导体,台积电据报支持冲刺 12 吋晶圆

东大制成 0.6 纳米二维半导体,台积电据报支持冲刺 12 吋晶圆

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News Editor
2026-10-02 04:16:39
东京大学团队开发出由硼、碳、氮组成的二维半导体材料 BCN,并在 2 吋铜晶圆上形成约 0.6 纳米均匀薄膜,已成功制成可正常运作的晶体管,相关成果发表于《自然》。据《日经新闻》报道,台积电已开始支持这项研究,目标在 2031 年前后实现 12 吋晶圆。论文作者还包括台湾大学、阳明交通大学与中研院研究人员。

东京大学研究团队开发出一种厚度约为一个原子的新型半导体材料 BCN,并已成功制成晶体管,相关成果登上国际期刊《自然》。据《日经新闻》报道,台积电已开始支持这项研究,目标是在 2031 年前后实现 12 吋晶圆。

硅微缩逼近极限,新材料研发升温

半导体产业长期遵循「摩尔定律」,即集成电路性能大约每两年翻倍。过去,业界主要通过持续缩小芯片上的电路尺寸、提高集成密度来提升性能。

不过,主流硅半导体在微缩上正越来越接近物理极限,电路难以无限缩小,寻找可替代硅的新一代半导体材料,已成为全球芯片产业的重要课题。

东大开发 BCN,薄膜厚度约 0.6 纳米

在多种候选技术中,原子级厚度的二维半导体受到关注。东京大学团队开发出由硼、碳、氮组成的新材料 BCN,并在直径 2 吋的铜晶圆上成功形成厚度约 0.6 纳米的均匀薄膜。

报道提到,研究团队已利用这层薄膜制成晶体管,目前确认可以正常运作,其表现甚至可与硅半导体匹敌。

《自然》刊出的论文显示,这项研究还有台湾大学、阳明交通大学和中央研究院等台湾学研机构研究人员共同参与。

通过缓慢供碳,团队解决碳原子聚集问题

过去在制造二维半导体时,碳在反应过程中容易聚集成团,导致材料质量下降,这一直是量产面临的一大障碍。

研究团队发现,只要在不导电的氮化硼晶体上以缓慢速度供应碳,就能让晶体均匀生长。团队还通过调整原料的化学组成,让硼、碳、氮原子的供应时机相互配合,解决了以往原子到位时间不一致的问题。

多层堆叠后仍可保持超薄

BCN 即使进行多层堆叠,整体厚度仍能维持很薄。按报道说法,未来芯片除了在水平方向继续缩小电路,也可以在垂直方向向上堆叠,以提高电路密度,并争取实现更高性能的半导体。

二维芯片若要构建完整逻辑电路,需要 n 型与 p 型两种半导体配合。过去业界一直缺乏高性能的 p 型二维材料,这次 BCN 被认为补上了这一缺口。

台积电据报已支持研究,目标指向 12 吋晶圆

根据《日经新闻》消息,在东京大学公布研究成果后,台积电已开始支持这项研究,目标是在 2031 年前后实现直径 12 吋的晶圆。这也是目前先进制程主流使用的晶圆尺寸。若能达成,这项技术将有机会走向产业应用。

截至目前,台积电官方尚未就这项消息作出回应。

报道还提到,高性能半导体未来可望应用于低功耗电脑、智能手机等新一代电子产品。东京大学教授 Vincent Tung 表示,新材料将成为支撑各种技术的新基础。

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