RAVE

半导体设备
2026-09-02 12:13:13

国产半导体设备迈入深水区:量检测加速,离子注入与键合仍待突围

在无锡举行的 CSEAC 2026 成为观察国产半导体设备进展的一扇窗口。工艺设备方面,中微、北方华创、上海微电子等厂商继续扩线,离子注入机则因技术路径独立、国产化率偏低而成为难点。量检测设备近年推进更快,中科飞测、御微半导体、东方晶源等已实现量产或验证突破。先进封装里,W2W 方案较成熟,D2W 设备仍以验证为主;核心零部件国产替代也在同步推进。

240
国产半导体设备迈入深水区:量检测加速,离子注入与键合仍待突围