据英国《金融时报》报道，华为正深度介入国产光刻机供应链，协调各方推动DUV光刻机进入产线。上海宇量升开发的国产先进DUV已在中芯国际等产线测试，计划年底生产12台。但投影镜头仍依赖德国Zeiss，高功率光源是瓶颈，华为已投资至期光子、科益虹源等公司补短板。

PANews 刊文称，上海一家国资背景企业已开始小批量制造国产浸没式 DUV 光刻机，今年计划生产约 5 台，交付对象包括中芯国际、华虹半导体和长鑫存储，2027 年目标提升至约 20 台。文章认为，这一进展更适合定义为进入客户导入与产业验证阶段，而不是“全面量产”或“光刻机的 DeepSeek 时刻”。现有公开信息仍不足以证明国产设备已在性能、可靠性和商业化成熟度上逼近 ASML。