华为统筹国产DUV光刻机,宇量升年底目标12台

华为统筹国产DUV光刻机,宇量升年底目标12台

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News Editor
2026-09-08 04:08:52
据英国《金融时报》报道,华为正深度介入国产光刻机供应链,协调各方推动DUV光刻机进入产线。上海宇量升开发的国产先进DUV已在中芯国际等产线测试,计划年底生产12台。但投影镜头仍依赖德国Zeiss,高功率光源是瓶颈,华为已投资至期光子、科益虹源等公司补短板。

华为深度介入国产DUV供应链

据英国《金融时报》报道,华为正在更深地介入国产光刻机供应链,不仅投资相关设备和零部件公司,还协调供应商、晶圆厂和整机厂商,推动国产DUV(深紫外光刻机)进入实际产线。Bernstein分析师将华为形容为中国DUV项目的「项目管理者」。

宇量升DUV设备年底目标12台

目前进展最快的是上海宇量升。该公司参与开发了国产先进DUV,设备已在中芯国际等晶圆厂及华为自己的产线上测试,计划今年底生产12台。现阶段主要先做较简单芯片,最终目标是用于先进AI芯片制造。

供应链瓶颈与华为投资布局

国产DUV目前尚未完全摆脱海外供应链。宇量升使用的投影镜头仍来自德国Zeiss,高功率光源也是主要瓶颈。华为已投资至期光子、科益虹源等公司,分别补国产镜头和光源。

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