路透社称，三星电子和 SK 海力士正在中国工厂评估中微公司的刻蚀设备，但三星随后否认测试或考虑采用相关设备，也没有证据显示双方已达成大规模采购。报道关注的核心并非订单进展，而是美国持续加码出口管制后，芯片企业评估设备时开始把零部件供应、软件升级和原厂维护的持续性纳入长期风险判断。文章同时提到，中微公司 2025 年刻蚀设备销售收入约 98.32 亿元，同比增长约 35%。

据 The Information 报道，上海一家国资背景公司已开始小批量生产国产浸没式 DUV 光刻机，今年计划出货约 5 台，2027 年增至约 20 台。首批设备将交付中芯国际、华虹半导体和长鑫科技，晶圆厂还需进行精度、稳定性及产线衔接验证。报道称，设备多数部件已国产化，但部分关键零部件仍依赖日本，整体性能和制造质量仍落后于 ASML。