国产浸没式DUV光刻机启动小批量生产，首批计划出货 5 台

据 The Information 报道，上海一家国资背景公司已开始小批量生产国产浸没式 DUV 光刻机，今年计划出货约 5 台，2027 年增至约 20 台。

首批设备交付三家晶圆厂

首批设备将交付中芯国际、华虹半导体和长鑫科技。报道提到，晶圆厂还需要验证设备的精度、稳定性，以及与现有产线的衔接，整个流程可能持续数月甚至更久。

多数部件已国产化，但仍依赖部分日本零部件

报道称，这款设备的大多数部件已经实现国产化，但部分关键零部件仍依赖日本。整体性能和制造质量方面，国产设备仍落后于 ASML。

与 ASML 交付规模仍有差距

报道显示，ASML 在 2025 年单年交付的浸没式 DUV 光刻机约为 131 台，国产设备距离大规模替代仍有差距。