马斯克
2026-08-09 05:35:07马斯克疑似关注 FEL 路线,EUV 光刻光源替代方案再受讨论
一则围绕 TeraFab 与马斯克回复展开的讨论,把自由电子激光器(FEL)重新带回半导体光刻话题。原文指出,FEL可通过调节电子束能量、波荡器周期和磁场强度改变输出波长,被一些观点视为传统 13.5 nm EUV 光源的候选替代方案。文章同时提到,美国初创公司 xLight 正在推进这一路线,并给出其对功率、成本和寿命的技术表述;不过,原文也强调,FEL 在工程化、体积、成本与量产适配上仍面临很大挑战。
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