据 The Information 援引知情人士消息，一家获得中国国有资本支持的企业已启动自主研发 DUV 光刻机制造设备量产，计划 2026 年生产约 5 台、2027 年扩大至约 20 台。报道提到，这批设备拟交付中芯国际、华虹半导体和长鑫存储等厂商，其中长鑫存储预计将成为重要应用方。