Odaily 星球日报报道称，受“某国企已开始量产 DUV 光刻机”消息影响，荷兰光刻机制造商 ASML Holding 美股盘中跌超 7%，暂报约 1633 美元。此前，The Information 援引知情人士称，一家获中国国有资本支持的企业已开始量产自主研发的 DUV 光刻机制造设备。

据 The Information 报道，上海一家国资背景公司已开始小批量生产国产浸没式 DUV 光刻机，今年计划出货约 5 台，2027 年增至约 20 台。首批设备将交付中芯国际、华虹半导体和长鑫科技，晶圆厂还需进行精度、稳定性及产线衔接验证。报道称，设备多数部件已国产化，但部分关键零部件仍依赖日本，整体性能和制造质量仍落后于 ASML。

据 The Information 援引知情人士消息，一家获得中国国有资本支持的企业已启动自主研发 DUV 光刻机制造设备量产，计划 2026 年生产约 5 台、2027 年扩大至约 20 台。报道提到，这批设备拟交付中芯国际、华虹半导体和长鑫存储等厂商，其中长鑫存储预计将成为重要应用方。