ASML计划2033年实现更大尺寸掩模版光刻机量产

ChainCatcher消息，ASML表示，计划与其主要客户合作，开发能够生产最先进芯片制造设备的新方案，以满足英伟达等公司设计的大型数据中心芯片需求。

目前ASML生产的被广泛应用的极紫外EUV光刻机可制造面积最大约800平方毫米的芯片。ASML即将推出的下一代“高数值孔径”EUV光刻机，能够制造出更为精细的芯片。不过，由于其采用尺寸较小的掩模版，目前在可制造芯片面积方面受到限制。

ASML计划到2031年展示采用更大尺寸掩模版的试验生产线，并在2033年使这项新技术具备大规模量产能力。